厚重稳固的优质花岗石工作台面,保证长期稳定性的基础上,大大减少振动对精度的影响。
移动桥体采用独特的气浮间距,保证机器在高速运动时扭摆小,稳定性强。
采用气浮轴承,高气膜刚性、自清洁,承载力更高。
高分辨率和精密的浮动式测长基准。
测量范围 | ||
X(mm) | Y(mm) | Z(mm) |
600~1200 | 800~1500 | 600~1000 |
精度 (依据ISO 10360-2/4/5标准的性能指标) | MPEE(µm) | 1.8+3.3L/1000起 |
MPEP(µm) | 1.8起 | |
MPETHP/T(µm) | 2.8/45s起 |
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