Master系列高精度测量专机,以更高精度、更高速度,以及长期稳定性著称。
高速、高精度、高稳定性结合。
双边高架桥型式,整体天然花岗石结构,提升整机运动性能和动态稳定性。
整体一体化导轨,导轨更宽、厚重,导向更准确,确保在高速移动中高刚性和抗扭性。
独特的气浮布局和气浮设计,承载力更强,导向更精准。
测量范围 | ||
X(mm) | Y(mm) | Z(mm) |
300~600 | 400~800 | 300~600 |
精度 (依据ISO 10360-2/4/5标准的性能指标) | MPEE(µm) | 0.9+3.0L/1000起 |
MPEP(µm) | 0.9起 | |
MPETHP/T(µm) | 1.5/45s起 |
电 话
微 信
Q Q
邮 箱